上海海隆石油管材研究所

功能/应用范围：提供能谱仪和背散射衍射仪的探头接口和电子束外部控制接口。提供与能谱仪形成一体化的接口(采用TCP/IP方式,提供电镜方软件)，配合能谱仪一方实现对扫描电镜镜筒参数的控制。 主要附件：1.能谱仪 型号：INCA Energy (IE350) 技术指标： 探测器：Si(Li)探测器 分辨率：Mn Ka峰的半高宽优于133eV； C ka峰半高宽优于66eV； F ka峰半高宽优于70eV。 实测MnKa/CKa/Fka峰位与理论峰位的偏差小于5ev；峰位漂移:<5ev。 元素测试：Be4？C U92。 2. INCA Synergy EBSD系统 技术指标： 探测器：Nordlys 探测器灵敏度：加速电压在3kV时，能采集到花样。 系统自带一万种以上无机物及金属材料标准数据库，能对所有11种劳厄群的晶体进行衍射花样的分析与标定。 分析软件：HKL Chanel 5。 主要技术指标：1.电子光学工作模式 1.1分辨率：依据所选择的工作条件，自动配置镜筒参数而得到最佳的分辨率； 1.2景深：在此模式下可以加强对景深的聚焦； 1.3视野模式：观察视野可达3cm，可在较大区域内观察样品，获取图片 ； 1.4大视野：优化镜筒结构后可得到特大视野不变形图象； 1.5摇摆电子束：采集电子通道花样（ECP），可获得样品晶体方向的工作模式。 2. 高真空下的分辨率（二次电子）：30KV下3.0nm；3KV下8.0nm。 3. 放大倍数：3x？D1,000,000x 连续可调。 4.加速电压：200V至30KV。 5.电子枪：钨灯丝；探针电流：1pA至2uA。 6.样品室 内部直径：300mm(宽)x 330mm(深) ，门宽： 280mm(宽)x 310mm(高)，接口数：9+。 7.样品台 类型：计算机化优中心。 移动行程：X=130mm？D？D马达驱动； Y=130mm？D？D马达驱动； Z=100mm？D？D马达驱动。 旋转：360度连续可调？D？D马达驱动。 倾斜：-20度？D80度？D？D马达驱动。 最大样品高度:143mm。 8 .探头 8.1 ET型二次电子探头（YAG 闪烁体）； 8.2可移动式背散射电子探头（YAG闪烁体）？D可移动环行闪烁体类（YAG闪烁体）具有高灵敏度和原子序分辨率（0.1）。 9 .样品室真空：高真空模式？s<9×10-3Pa 。 10.镜筒真空： <9×10-3Pa。更换样品后抽真空时间？s 一般<3分钟。 11.样品室和镜筒减振：气垫。 12.显微镜控制：显微镜的所有功能都由键盘,鼠标和轨迹球通过Window™平台上的Vega TC软件控制。 13. 计算机两台，打印机一台。 14. 远程控制：通过TCP/IP。 15. 图象显示：22寸液晶显示。 16 .图象尺寸：最大为8192×8192象素,扫描窗口大小可分为4档，存储窗口可分为10档。可为正方形，4:3或2:1的矩形。 17 .扫描：扫描速度？s从200ns至10ms/每个象素可阶段或连续式的调整。 聚焦窗口？s形状，尺寸和位置都可调整。 动态聚焦，点&线扫描，三维(3D)实时立体图像观察。 18 .自动操作 真空控制 灯丝加热(升灯丝) 电子枪合轴 分辨率模式的对中 加速电压的补偿 探针电流优化束斑直径 束斑直径优化放大倍数 扫描速度（根据信号？D噪音？D速率） 对比度&亮度 聚焦&消象散 观察表格