上海材料研究所检测中心

　　技术指标电子光学系统：Quanta 400 FEG的特点是电子光学镜筒的光轴预先调整到达最高分辨率和稳定电子束的最佳状态。电子光学系统主要包含以下内容：电子源肖特基场发射电子枪。电子枪部件调整到最佳状态，高亮度大束流，提供无噪音成像。加速电压200V ~ 30kV束流 >100nA分辨率(用碳膜上的金颗粒来测试)高真空：1.2nm@30kV (SE)；2.5nm@30kV (BSE)；3.0nm@1kV (SE)低真空：1.5nm@30kV (SE)；2.5nm@30kV (BSE)；3.0nm@3kV (SE)扩展的真空模式(ESEM)：1.5nm@30kV (SE)焦距范围2.5 ~ 99 mm放大倍率12x (长工作距离) ~ >2,000,000x在19"LCD显示器上单一像限观察视野范围在高、低真空模式具有同样的视野范围(最大工作距离17mm)

　　应用范围Quanta 400 FEG是一个场发射扫描电子显微镜，可以产生和收集任何样品的信息。它是最通用型的高分辨低真空的场发射扫描电镜，具有低真空性能可用于真正有挑战性的样品和动态实验。这是第二代的Quanta FEG，它的特点是改善了图像分辨率和对比度。