扬州大学测试中心

　　技术指标

　　最佳空间分辨率：≤3μm;最佳能量分辨率：≤0.45ev; ;大面积,能量分辨率≤0.50ev，灵敏度400,000cps;空间分辨率20μm，能量分辨率≤0.50ev，灵敏度500cps.

　　仪器用途

　　(1)固体样品的表面成分分析、化学态分析，取样深度约为1-10nm；(2)材料中元素的深度分析，角分辨方式，氩离子与氩团簇离子刻蚀方式；(3)可进行样品的原位处理，如原位加热、冷却、断裂。应用范围：纳米薄膜材料，催化剂，微电子材料，高分子材料，生物材料，金属材料，半导体材料，无机非金属材料等。