技术指标:1电子束 1.1肖特基场发射灯丝;1.2分辨率:≤1.0 nm@15KV ,≤1.9 nm@1kV 1.3 放大倍率:12x ~ 1000kx 1.4加速电压:0.1kV ~ 30 kV 1.5束流强度:最大束流不低于20 nA,连续可调 2 离子束 2.1离子源种类:液态Ga离子源,使用寿命保证不低于1500小时;2.2分辨率:≤ 2.5nm@30kV。
仪器用途:可以在纳米尺度的分辨率下对材料进行三维、高质量、高稳定性的显微形貌、晶体结构和相组织的观察与分析,及各种材料微区化学成分的定性和定量检测。
收费标准:500元/小时
机组负责人:冯涛 025-84303409 tao.feng@njust.edu.cn