技术指标:系统到达真空 <5×10-10 torr;最小X射线斑束<9.0μm 在x方向;<9.0μm 在y方向; XPS灵敏度> 15kcps <10.0 μm ;能量分辨率<0.60 eV ;离子枪最大电流 >5.0 μA @ 5 kV
仪器用途:测试表面元素组成,进行定性和定量分析。
收费标准:400元/样品
机组负责人:杨加志 025-84317316 jiazhiyang@sina.com