技术指标:扫描长度:0.05-30mm;样品最大厚度:20mm;竖直分辨率/量程:1.5Å/10µm;15Å/100µm;62Å/400µm;
仪器用途:用于薄膜材料样品的膜厚、表面轮廓、平整度、薄膜应力等的测量
收费标准:无
机组负责人:李子全 025-84895871