技术指标:垂直测量范围 0.1nm-1nm 垂直分辨率 ?1ÅRa 重现性 0.01nm 最大垂直扫描速度 7.2um/sec(288uin./sec) 横向分辨率 0.08-13.1um 可视区域 8.24mm-0.05mm 反射率范围 1%-100% 符合CE标准
仪器用途:测量微纳米结构表面形貌。对表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维测量,给MEMS、厚膜、光学元件、陶瓷和先进材料的研发和生产提供一个精确的计量方案。
收费标准:面议
机组负责人:华希俊 0511-88780824