主要技术指标:扫描范围:10μm×10μm横向分辨率:~ 5 nm (电学测量模式为10~20nm)CAFM电流分辨率< 5pA
功能/应用范围:功能包括:AFM,EFM,CAFM,SKM,SCM等主要应用为:纳米尺度的电学性质测量
主要测试和研究领域:其他