- 仪器名称：超高真空磁控溅射仪 (ultra-high vacuum magneto-sputtering system)
- 价格型号：多功能三室
- 仪器分类：工艺实验设备/电子工艺实验设备
- 应用领域：其他
- 所属单位：复旦大学物理学系
- 所在地点：上海市杨浦区邯郸路220号
- 产 地：中国
- 产 商：沈阳中科仪技术公司
- 价 值：0
- 购置日期：0000-00-00
主要技术指标：多功能三室7个靶位
功能/应用范围：给基片溅射镀各种膜制作样品
主要测试和研究领域：其他
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