主要技术指标:50x50x2.5μm扫描器,AFM横向分辨率10-50nm,纵向分辨率〉1nm。
功能/应用范围:功能包括:AFM,CAFM和EFM主要可用于较大范围(1 - 50um)的表面性貌的测试和简单的电学测试
主要测试和研究领域:其他