复旦大学物理学系

主要技术指标：系统的极限压强可达≤5x10-8Torr；30分钟从大气压抽到≤5x10-6Torr;坩埚的数目4个，坩埚的容量不小于7cc;电子枪功率不小于5kW。

功能/应用范围：主要用于微纳器件加工及光学薄膜、电输运性质测量过程中高质量、厚度精确控制的金属及氧化物薄膜的蒸镀。主要蒸镀材料包括：钛、金、镍、银、铝、三氧化二铝、二氧化硅等薄膜等金属单质、氧化物等；并特别考虑对Liftoff工艺的适合性。

主要测试和研究领域：电子/信息技术