- 仪器名称：双束显微镜
- 价格型号：Auriga
- 仪器分类：分析仪器/显微镜及图象分析仪器
- 应用领域：电子元器件
- 所属单位：复旦大学物理学系
- 所在地点：上海市杨浦区邯郸路220号
- 产 地：德国
- 产 商：Carl Zeiss
- 价 值：0
- 购置日期：1899-11-30
主要技术指标：分辨率：1.0nm@15kV、1.9nm@1kV；离子束分辨率：2.5nm@30kV;加速电压：0.1-30kV(SEM)、1-30kV(FIB)
功能/应用范围：用于各种微纳器件和低维纳米人工结构的制作，是研究材料在低维度、小尺寸下量子行为的重要工具，应用范围包含：微纳电子器件、光电子器件、微纳机电系统、超导电子学器件、磁电子学器件、光子晶体等。
主要测试和研究领域：电子/信息技术
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