主要技术指标:测量模式:接触模式、轻巧模式、MFM、EFM、智能扫描模式、抬高模式、力曲线模式、TR-Mode、横向力模式、STM、C-AFM;XY方向不小于90µm×90µm,Z方向不小于10µm;Z方向噪声水平小于0.05nm,XY方向噪声水平:小于0.15nm
功能/应用范围:可以测量不同样品的表面形貌进行,也可以测试样品中不同物质的摩擦系数,区别样品不同组分,可以研究材料的磁性性质、导电性质,可测试样品的弹性等信息,可研究样品的相特性等;主要应用于半导体器件、材料、高分子、化学、生物、石墨烯、复杂氧化物等领域。
主要测试和研究领域:电子/信息技术