- 仪器名称：电子束蒸发系统 (Thin Film Depostion System)
- 价格型号：DE400
- 仪器分类：工艺实验设备/电子工艺实验设备
- 应用领域：电子元器件
- 所属单位：复旦大学物理学系
- 所在地点：上海市杨浦区邯郸路220号
- 产 地：美国
- 产 商：Thermionics Laboratory 公司
- 价 值：0
- 购置日期：0000-00-00
主要技术指标：电子枪功率3kW，本底真空10E-9Torr，6寸旋转样品托(可液氮冷却)，坩埚5*2.24cc
功能/应用范围：蒸镀各种金属薄膜
主要测试和研究领域：电子/信息技术
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