上海大学实验设备处

联系人：徐静(18616382643)

 

仪器简介：

 

　　1.仪器主体为两室结构，分别是分析室以及样品制备室兼进样室。

 

　　2.超高真空分析室内应实现单色化XPS、双阳极XPS、成像XPS、深度剖析XPS、电荷中和、离子散射谱ISS、能量损失谱REELS、自动化五轴样品台及样品加热冷却等功能；

 

　　3.样品制备室能实现大束斑离子清洁、至少三个样品托的停放台以及超高真空监测等功能，并额外具备可安装样品断裂台以及样品加热冷却台的法兰口等功能。

 

主要技术指标：

 

　　1.最佳能量分辨率:0.45ev

 

　　2.最佳空间分辨率:3μm

 

　　3.单色光源最佳灵敏度:>325kcps@0.6eV(300μm束斑,Al KαAg3d5/2峰)

 

　　4.分析室最佳真空度:5.0×10-10mba

 

　　5.离子枪束斑:20μm -900μm

 

应用范围：

 

　　主要用于固体材料的表面的化学组成、价态，深度剖析及成像等综合分析与表征技术的研究，满足各种条件下的表面分析的科研需要。