上海大学实验设备处

联系人：蒋雪茵(13761269615)

仪器简介：

　　该设备主要用于在真空条件下蒸发各种有机薄膜。

主要技术指标：

　　蒸发室尺寸：Φ400×620mm,极限真空：9×10-5Pa，基片旋转速度4-40转/分，连续可调。蒸发源采用电阻加热，功率为2000W。基片进出传输方式：手动直线运动。并配有膜厚监控装置，精度达到0.1A。

应用范围：

　　主要用于蒸发各种有机材料及金属材料，用于制备各种有机电子器件。