上海大学实验设备处

联系人：唐可(13817224066)

仪器简介：

　　Keithley 4200-SCS/F型半导体器件性能表征系统是一个可以提供精密电流源、电压源和测试功能的测试系统，为半导体器件和测试结构的直流参数测试、实时绘图与分析提供了一套完整的方案，具有高精度和亚fA级的分辨率。

主要技术指标：

　　1.电压测量范围：1μV-200V，电压测量最小分辨率为1μV；

　　2.电流测量范围：100fA-100mA，电流测量最小量程为100nA；在最小量程上的电流测量最小分辨率为100fA，精度30pA；

　　3.测量单元数：3；

应用范围：

　　可广泛应用于各类新材料、薄膜材料、异质结构等光电子材料及器件的电学性质和物理特性的研究。