- 仪器名称：磁控溅射台
- 价格型号：PVD75
- 仪器分类：其他
- 应用领域：其他
- 所属单位：上海大学实验设备处
- 所在地点：上海市宝山区上大路99号
- 产 地：美国
- 产 商：美国Kurt J.Lesker
- 价 值：0
- 购置日期：2010-09-20
联系人：曾志刚(13818945625)、叶锋杰(18810216468)
仪器简介：
磁控溅射(射频、直流)
基片旋转、基片加热、偏压
可用程序控制镀膜过程自动化
主要技术指标：
2个射频源，1个直流源，基片加热温度最高350度
应用范围：
主要应用于：金属、半导体及介质层直流/交流磁控溅射
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